利用介質放電產生的等離子體以快的速度反復轟擊廢氣中的氣體分子，去、電離、裂解廢氣中的各種成分，通過氧化等一系列復雜的化學反應，使復雜大分子污染物轉變為一些小分子的   物質(如二氧化碳和水)，或使物質轉變為   或低毒低害物質。

等離子工業廢氣治理優勢：

該法消耗低，具有裝置簡單，易于操作，占地面積小，使用方便等優點，但是在實際應用中存在著凈化效率低的問題。由于是一項，人們對于其作用機理研究不夠充分，還沒有形成規律性認識，很多企業只是在模仿這項技術，并沒有掌握的核心技術。